トップ > フィルター(HEPA、中性能、プレ、他) > 【先端産業の気中汚染ガス対策に】長寿命形ケミカルフィルター アルカリ除去用/酸除去用/有機除去用
【先端産業の気中汚染ガス対策に】長寿命形ケミカルフィルター アルカリ除去用/酸除去用/有機除去用
◆気中汚染ガス(有機、イオン、メタル成分)を高効率で除去!!
◆吸着容量及びガス接触頻度を増すことで長寿命化を実現!!
◆組み合わせて使用することで多種のケミカル汚染物質の除去が可能に!
【用途】
・半導体、FPD工場の製造環境の整備、各種ケミカル汚染対策
【フィルタ標準仕様】
フィルタ種類 |
形式 |
寸法(mm)※1
縦×横×奥行 |
定格
風量(m3/min) |
定格
風速(m/s) |
圧力
損失(Pa) |
ガス
除去
効率(%)※2 |
製品
質量
(kg/台) |
アル
カリ
除去用 |
ECSL-10-R-E-B-LL |
610×610×75 |
10 |
0.5 |
40 |
90 |
8 |
ECSL-10-RS-E-B-LL |
610×610×65 |
10 |
0.5 |
30 |
90 |
7 |
ECSL-7-S-E-B-LL |
610×610×50 |
7 |
0.35 |
15 |
90 |
5 |
酸
除去用 |
ACEX-10-R-E-AA-LL |
610×610×75 |
10 |
0.5 |
55 |
90 |
8 |
ACEX-10-RS-E-AA-LL |
610×610×65 |
10 |
0.5 |
40 |
90 |
7 |
ACEX-7-S-E-AA-LL |
610×610×50 |
7 |
0.35 |
24 |
90 |
5 |
有機
除去用 |
ACGL-10-R-E-O-LL |
610×610×75 |
10 |
0.5 |
80 |
90 |
8 |
ACGL-10-RS-E-O-LL |
610×610×65 |
10 |
0.5 |
60 |
90 |
7 |
ACGL-7-S-E-O-LL |
610×610×50 |
7 |
0.35 |
30 |
90 |
5 |
※1)寸法はその都度対応いたします。ご相談ください。
※2)ガス除去効率は、使用風速、除去対象ガスの種類、温湿度など、ご使用環境によって変わりますのでご相談ください。
【使用条件】
・推奨使用温度(℃)0〜40
・推奨使用湿度(%RH)30〜90(結露なきこと)
※ガスケット(パッキン)位置は「下流側」となります。
位置変更ご希望の場合、
お問い合わせください。