ワイパーの評価実験
※本ページの試験は何らかの規格に基づいた試験ではありません。
シーズシーとして一定の基準を設けて自社のラボルームで実施した試験です。
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実験� ／ー茲蟒�去率
本実験では、ワイパーで拭取った際のゴミの除去率を検証しました。アルコールを付けた時とそうでない時でそれぞれ行い、効果を比較しています。ゴミは、落下し付着異物となる30μmの大きさの石松子を採用、拭取り試験装置を使うことにより、一定の負荷で拭取った時の数値を出しています。
【実験目的】 アルコール有無によるワイパーのゴミ除去率の検証
【使用機器】 拭取り試験装置、粗大粒子カウンターRACCAR
【測定環境】 温度27.7℃／湿度52％
【実験方法】
初めに、既定の温湿度条件（湿度45％以上、温度23℃±7℃）になるようエアコン・加湿器で調整する。
�� 下図のように、拭き取り試験装置のセッティングをする。
・可動部が、50mm/秒の速さで、左端から右端まで動く設定をする。
・測定対象ウエハとは別のウエハ3枚を、A,B,Dの位置に置く。 |
自動拭取り試験装置 |
�� クリーンナップ後のウエハに石松子を300個以上を目安に散布、粗大粒子カウンターRACCARで測定する。
�� 拭き取り試験装置用のおもりに、ワイパーを巻き付け、アルコールIPAで十分湿らせる。
下図拭き始めの位置にある可動部枠内にはめる。
�� �△離Ε┘呂�Cの位置に置き、同時に拭取り試験装置を稼働させる。
�� 拭取り後すぐにウエハCを回収し、RACCARにて測定する。
�� これを各ワイパー、アルコール有、無（乾燥状態)で行う。
�� 拭取り前と拭取り後の数値から、除去率を求める。
※測定粒形は30μm以上
実験�◆‘虻郢� 発塵数
本実験では、新品のワイパーを動かした時にどれ位の発塵があるかを検証しました。動かし方は、日常的に想定できる程度の動き、ワイパーを持って手首から振っています。新品のワイパーに、元々どの位の発塵リスクがあるかの目安となります。
【実験目的】 新品ワイパーの自己発塵の検証
【使用機器】 発塵試験装置、微粒子用パーティクルカウンターKC-31
【測定環境】 温度28.8℃／湿度50％
【実験方法】
初めに、既定の温湿度条件（湿度45％以上、温度23℃±7℃）になるようエアコン・加湿器で調整する。
�� 発塵試験装置内を清掃し装置稼働時の発塵数が0となることを、パーティクルカウンターで確認する。
�� クリーン手袋をはめ、腕から先にかけてローラー掛けをする。
�� 新品のワイパーを持ち、発塵試験装置内に入れる。
�� パーティクルカウンターの測定を開始し、1分間は手を動かさずに待機する。
�� その後1分間、1秒毎に計60回、ワイパーを振る。
�� その後2分間、手を動かさずに待機する。 |
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�� �キΔ旅膩�3分間で測定された数値を元に、 発塵試験装置の風量・パーティクルカウンターの吸引量から、実際の発塵数へ換算する。
※面積辺りではなく、1枚当たりの発塵数とする。
※測定粒形は0.3μm以上
実験�� 裁断時 発塵数
本実験では、ワイパーを使用していく中での破れや摩耗など傷みが出た時の発塵を検証しました。 破れた時を想定して、裁ちばさみで裁断しています。 傷みが出たものや破れたものを使い続けた時に、どの程度のリスクとなるかの目安になります。
【実験目的】 ワイパー破断時のリスク検証
【使用機器】 発塵試験装置、微粒子用パーティクルカウンターKC-31
【測定環境】 温度28.4℃／湿度46％ |
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【実験方法】
初めに、既定の温湿度条件（湿度45％以上、温度23℃±7℃）になるようエアコン・加湿器で調整する。
�� 発塵試験装置内を清掃し装置稼働時の発塵数が0となることを、パーティクルカウンターで確認する。
�� クリーン手袋をはめ、腕から先にかけてローラー掛けをする。
�� 片手に刃先から7cmの所に印をつけた裁ちばさみ、もう片方に新品のワイパーを持ち、
両手を発塵試験装置内に入れる。
�� パーティクルカウンターの測定を開始し、1分間は手を動かさずに待機する。
�� その後1分間、5秒毎に計12回、刃につけた印を目安にワイパーを裁断する。
�� その後2分間、手を動かさずに待機する。
�� �キΔ旅膩�3分間で測定された数値を元に、
発塵試験装置の風量・パーティクルカウンターの吸引量から、実際の発塵数へ換算する。
※測定粒形は0.3μm以上。
※結果は面積当たりではなく、1枚当たり。
実験�ぁゝ杰緡�
本実験では、1枚当たりのワイパーの給水量を求めています。
生地の性能を表す重量辺りの給水効率や面積辺りではなく、1枚当たりで数値を算出しています。
単純にワイパー1枚でどの位の水分を吸水するか、吸水性の目安となります。
【実験目的】 ワイパー1枚辺りの吸水性の検証
【使用機器】 アズプロコンパクト電子天秤 OH-42B
【測定環境】 温度28.7℃／湿度51％
【実験方法】 初めに、既定の温湿度条件（湿度45％以上、温度23℃±7℃）になるようエアコン・加湿器で調整する。
�� 新品ワイパー1枚をピンセットで取り出し、電子天秤で計測する。
�� 水の入ったボウルへワイパーを1分間浸す。
�� ワイパーを取り出し、洗濯ばさみでワイパーを2分間吊るす。
�� その後、ワイパーの重さを電子天秤で測る。
�� 「�ぁ櫚 廚侶彁纂阿如�給水量を算出する。
※面積辺りではなく、1枚当たりの給水量とする。 |
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